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真空電弧是氣體放電的一種形式，通常會有兩種形態，分別是擴散型電弧和集聚型電弧。
1、擴散型真空電弧
當真空電弧電流不大時，對于銅電極來說一般不超過7～8KA，陰極斑點將不停地運動，通常是由電極中心向邊緣運動。當陰極斑點到達邊緣，等離子錐便彎曲，接著陰極斑點就突然熄滅，在電極中心又會繼續不斷地產生新的陰極斑點。如果電流保持不變，陰極表面存在的陰極斑點數基本上維持不變。當電弧電流增大或減小時，陰極斑點也隨之增加或減少。這種存在許多陰極斑點的真空電弧，隨著陰極斑點的運動不斷地向四周擴散，所以叫擴散型真空電弧。見圖一
2、集聚型真空電弧
當真空電弧電流很大時，如對銅電極而言，當電弧電流超過10KA時，電弧的外形將突然發生變化，陰極斑點不再向四周作擴散運動，而是相互吸引，結果所有的陰極斑點都聚集成一個斑點團，陰極斑點團的直徑可達1～2CM。此時陽極上出現了陽極斑點，陰極表面和陽極表面均有強烈的光柱，陰極光柱與陽極光柱自由地向電極的四周擴散成為數條連續的閃光，有時偶爾也與電極平行。如果真空電弧一旦聚集，陰極斑點與陽極斑點便不再移動或以很緩慢的速度運動，陽極和陰極表面被局部強烈加熱，導致嚴重熔化，這種真空電弧叫做集聚型真空電弧。
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